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A LOW ENERGY SCANNED ELECTRON BEAM POTENTIAL PROBE
被引:8
作者
:
FLEMMING, JP
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0
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0
FLEMMING, JP
机构
:
来源
:
JOURNAL OF PHYSICS E-SCIENTIFIC INSTRUMENTS
|
1968年
/ 1卷
/ 12期
关键词
:
D O I
:
10.1088/0022-3735/1/12/309
中图分类号
:
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
:
0804 ;
080401 ;
081102 ;
摘要
:
引用
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页码:1179 / &
相关论文
共 4 条
[1]
SCANNING TECHNIQUE WITH SLOW ELECTRONS FOR INVESTIGATION OF INTEGRATED CIRCUITS
BAUER, K
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BAUER, K
BLOSS, W
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BLOSS, W
[J].
ELECTRONICS LETTERS,
1967,
3
(11)
: 475
-
&
[2]
ELECTRON BEAM SCANNING TECHNIQUE FOR MEASURING SURFACE WORK FUNCTION VARIATIONS
HAAS, GA
论文数:
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HAAS, GA
THOMAS, RE
论文数:
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THOMAS, RE
[J].
SURFACE SCIENCE,
1966,
4
(01)
: 64
-
&
[3]
PETIT CY, 1968, VACUUM, V18, P1
[4]
THOMAS RE, 1965, 6336 US NAV RES LAB
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共 4 条
[1]
SCANNING TECHNIQUE WITH SLOW ELECTRONS FOR INVESTIGATION OF INTEGRATED CIRCUITS
BAUER, K
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BAUER, K
BLOSS, W
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BLOSS, W
[J].
ELECTRONICS LETTERS,
1967,
3
(11)
: 475
-
&
[2]
ELECTRON BEAM SCANNING TECHNIQUE FOR MEASURING SURFACE WORK FUNCTION VARIATIONS
HAAS, GA
论文数:
0
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0
HAAS, GA
THOMAS, RE
论文数:
0
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0
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THOMAS, RE
[J].
SURFACE SCIENCE,
1966,
4
(01)
: 64
-
&
[3]
PETIT CY, 1968, VACUUM, V18, P1
[4]
THOMAS RE, 1965, 6336 US NAV RES LAB
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