USE OF ARGON DILUENT GAS IN A SELF-SUSTAINED DISCHARGE EXCIMER LASER

被引：8

作者：

MIZUNAMI, T

MAEDA, M

MIYAZOE, Y

机构：

来源：

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1981年 / 20卷 / 09期

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.20.1763

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：1763 / 1764

页数：2

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共 5 条

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