INSITU INFRARED-SPECTROSCOPY OF MOLECULAR-BEAM EPITAXY GROWN GAAS

被引:13
作者
SADWICK, LP [1 ]
WANG, KL [1 ]
JOSEPH, DL [1 ]
HICKS, RF [1 ]
机构
[1] UNIV CALIF LOS ANGELES,DEPT CHEM ENGN,LOS ANGELES,CA 90024
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1989年 / 7卷 / 02期
关键词
D O I
10.1116/1.584732
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:273 / 276
页数:4
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共 11 条
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