THE EFFECTS OF OXYGEN CONCENTRATION IN SPUTTER-DEPOSITED MOLYBDENUM FILMS

被引：30

作者：

BARDIN, TT ^{[1
]}

PRONKO, JG ^{[1
]}

BUDHANI, RC ^{[1
]}

LIN, JS ^{[1
]}

BUNSHAH, RF ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV CALIF LOS ANGELES,DEPT MAT SCI & ENGN,LOS ANGELES,CA 90024

来源：

关键词：

Nuclear Resonant Reaction - Rutherford Backscattering;

D O I：

10.1016/0040-6090(88)90695-5

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：243 / 247

页数：5

共 4 条

[1] ELASTIC SCATTERING OF ALPHA-PARTICLES BY OXYGEN [J].

CAMERON, JR .

PHYSICAL REVIEW, 1953, 90 (05) :839-844

[2]

Chu W. K., 1978, BACKSCATTERING SPECT

LIN, JS ;

BUDHANI, RC ;

BUNSHAH, RF .

WINTERS, HF ;

KAY, E .