HIGH-RESOLUTION, LOW-ENERGY BEAMS BY MEANS OF MIRROR OPTICS

被引：26

作者：

MUNRO, E

ORLOFF, J

RUTHERFORD, R

WALLMARK, J

机构：

[1] OREGON GRAD CTR,BEAVERTON,OR 97006

[2] RUTHERFORD CONSULTANT,NEW CANAAN,CT 06840

[3] IMAGE GRAPH INC,SHELTON,CT 06484

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1988年 / 6卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.584147

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：1971 / 1976

页数：6