GASEOUS DIFFUSION OF ARSENIC AND PHOSPHORUS INTO GERMANIUM

被引:9
作者
LEHOVEC, K
PIHL, C
机构
关键词
D O I
10.1149/1.2428134
中图分类号
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号
081704 ;
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页数:9
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