PREPARATION AND PROPERTIES OF COEVAPORATED AMORPHOUS CO-ZR THIN-FILMS

被引:27
作者
KRISHNAN, R [1 ]
TARHOUNI, M [1 ]
TESSIER, M [1 ]
GANGULEE, A [1 ]
机构
[1] IBM CORP,THOMAS J WATSON RES CTR,YORKTOWN HTS,NY 10598
关键词
D O I
10.1063/1.330787
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:2243 / 2245
页数:3
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