ON THE TEMPERATURE-DEPENDENCE OF PLASMA POLYMERIZATION

被引:57
作者
DEUTSCH, H
KERSTEN, H
KLAGGE, S
RUTSCHER, A
机构
关键词
D O I
10.1002/ctpp.2150280206
中图分类号
O35 [流体力学]; O53 [等离子体物理学];
学科分类号
070204 ; 080103 ; 080704 ;
摘要
引用
收藏
页码:149 / 155
页数:7
相关论文
共 14 条
[11]  
POLL HU, 1985, GLIMMENTLADUNG PERFL
[12]  
Vinogradov G. K., 1979, PLASMA CHEM PROCESSE, P64
[13]  
VINOGRADOV GK, 1978, KHIM VYS ENERG, V12, P542
[14]  
Yasuda H., 1978, THIN FILM PROCESSES, P361