FABRICATION OF MICROMECHANICAL DEVICES FROM POLYSILICON FILMS WITH SMOOTH SURFACES

被引:123
作者
GUCKEL, H [1 ]
SNIEGOWSKI, JJ [1 ]
CHRISTENSON, TR [1 ]
MOHNEY, S [1 ]
KELLY, TF [1 ]
机构
[1] UNIV WISCONSIN,CTR MAT SCI,MADISON,WI 53706
来源
SENSORS AND ACTUATORS | 1989年 / 20卷 / 1-2期
关键词
D O I
10.1016/0250-6874(89)87109-4
中图分类号
O65 [分析化学];
学科分类号
070302 ; 081704 ;
摘要
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页码:117 / 122
页数:6
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