FINE-GRAINED POLYSILICON FILMS WITH BUILT-IN TENSILE STRAIN

被引：109

作者：

GUCKEL, H

BURNS, DW

VISSER, CCG

TILMANS, HAC

DEROO, D

机构：

[1] Univ of Wisconsin, Madison, WI, USA, Univ of Wisconsin, Madison, WI, USA

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/16.2534

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：800 / 801

页数：2

共 6 条

GUCKEL, H ;

RANDAZZO, T ;

BURNS, DW .

[2]

GUCKEL H, 1984, DEC IEDM

[3]

GUCKEL H, 1987, 4TH INT WORKSH PHYS

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