MONITORING OF THIN FILM GROWTH BY AN ULTRASONIC INTERFERENCE METHOD

被引：2

作者：

LUTSCH, AGK

WILK, M

BIERBAUM, P

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1683596

中图分类号：

TH7 [仪器、仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

引用

页码：1119 / &

共 6 条

BAKOS, J ;

NAGY, G ;

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