MEASUREMENTS OF TEMPERATURE OF THIN METAL FILMS DURING VAPOR DEPOSITION

被引：4

作者：

NAMBA, Y

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1143/JJAP.7.783

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

[No abstract available]

引用

页码：783 / &

相关论文

共 5 条

[1] TEMPERATURE CHANGES IN THIN METAL FILMS DURING VAPOR DEPOSITION [J].

BELOUS, MV ;

WAYMAN, CM .

[2]

KAMNJUK JF, 1963, SOVIET PHYSICSSOLID, V5, P712

[3]

NAKAI J, 1963, OYO BUTURI, V32, P17

[4]

PASHLEY DW, 1966, ELECTRON MICROSCOPY, V1, P517

[5]

YODA E, 1966, P 6 INT C EL MICR KY, P517