REACTIVE SPUTTERING OF METALS IN OXIDIZING ATMOSPHERES

被引：144

作者：

HELLER, J ^{[1
]}

机构：

[1] IBM CORP,GMTC,SINDELFINGEN,WEST GERMANY

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(73)90125-9

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：163 / 176

页数：14

共 8 条

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