A METHOD FOR RAPIDLY SCREENING POLYMERS AS ELECTRON-BEAM RESISTS

被引：5

作者：

BRAULT, RG

MILLER, LJ

机构：

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1981年 / 128卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2127571

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页码：1158 / 1161

页数：4

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共 3 条

[1] SENSITIVITY AND CONTRAST OF SOME PROTON-BEAM RESISTS [J].

BRAULT, RG ;

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