THERMAL-CONDUCTIVITY OF THIN-FILMS - MEASUREMENTS AND UNDERSTANDING

被引:272
作者
CAHILL, DG
FISCHER, HE
KLITSNER, T
SWARTZ, ET
POHL, RO
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1989年 / 7卷 / 03期
关键词
D O I
10.1116/1.576265
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
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页码:1259 / 1266
页数:8
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