PREPARATION OF YBACUO FILMS BY DC MAGNETRON SPUTTERING

被引:7
作者
SHI, W
SUN, J
LIU, L
QI, Z
机构
关键词
D O I
10.1088/0953-2048/1/6/007
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:312 / 315
页数:4
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