PLASTIC DEFORMATION IN CENTRAL REGIONS OF EPITAXIAL SILICON SLICES

被引：19

作者：

DYER, LD

HUFF, HR

BOYD, WW

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1659999

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：5680 / &

共 23 条

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