SPUTTERING OF OXIDE FILMS IN PLASMA ANODIZATION OF ALUMINUM

被引:15
作者
LOCKER, LD
SKOLNICK, LP
机构
关键词
D O I
10.1063/1.1651871
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:396 / &
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