PLASMA PANELS

被引：6

作者：

HABERLAN.PH ^{[1
]}

机构：

[1] IBM CORP,SYST DEV DIV,KINGSTON,NY 12401

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1973年 / 10卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1318435

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：796 / 803

页数：8

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