PLASMA PANELS

被引:6
作者
HABERLAN.PH [1 ]
机构
[1] IBM CORP,SYST DEV DIV,KINGSTON,NY 12401
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1973年 / 10卷 / 05期
关键词
D O I
10.1116/1.1318435
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:796 / 803
页数:8
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