QUANTITATIVE THERMAL-DESORPTION SPECTROMETRY OF IONICALLY IMPLANTED INERT-GASES .2. TECHNICAL REQUIREMENTS

被引:31
作者
KORNELSEN, EV
VANGORKUM, AA
机构
关键词
D O I
10.1016/S0042-207X(81)80166-2
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
收藏
页码:99 / 111
页数:13
相关论文
共 19 条