DETERMINATION OF THE CENTROID DEPTHS OF SHALLOW IMPURITY PROFILES BY X-RAY-FLUORESCENCE SPECTROMETRY

被引：20

作者：

GRIES, WH

WYBENGA, FT

机构：

来源：

SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS | 1981年 / 3卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1002/sia.740030605

中图分类号：

O64 [物理化学（理论化学）、化学物理学];

学科分类号：

070304 ; 081704 ;

摘要：

引用

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页码：251 / 257

页数：7

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共 12 条

[11]

SMITH BJ, 1973, ION IMPLANTATION

[12]

WILSON RG, 1973, ION BEAMS APPLICATIO, P286