A CRYOSORPTION PUMPED RAPID CYCLE UHV SYSTEM

被引：2

作者：

VISSER, J

SCHEER, JJ

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1981年 / 19卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.571004

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：122 / 123

页数：2

共 6 条

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