NONLINEAR STRAIN EFFECTS IN ION-IMPLANTED GAAS

被引：28

作者：

PAINE, BM ^{[1
]}

SPERIOSU, VS ^{[1
]}

机构：

[1] CALTECH,PASADENA,CA 91125

来源：

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS | 1987年 / 62卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1063/1.339596

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

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页码：1704 / 1709

页数：6

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共 12 条

[11] WIE CR, 1986, NUCL INSTRUM METHO B, V44, P44
[12] WIE CR, 1985, MATER RES SOC S P, V35, P305