THERMOMECHANICAL PROPERTIES OF GLOW-DISCHARGE DEPOSITED SILICON AND SILICON-OXIDE FILMS

被引：17

作者：

JANSEN, F

MACHONKIN, MA

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1988年 / 6卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.575314

中图分类号：

TB3 [工程材料学];

学科分类号：

0805 ; 080502 ;

摘要：

引用

页码：1696 / 1698

页数：3

共 4 条

[1] BRILLOUIN-SCATTERING FROM HYDROGENATED AMORPHOUS SILICON [J].

GRIMSDITCH, M ;

SENN, W ;

WINTERLING, G ;

BRODSKY, MH .

JANSEN, F ;

MACHONKIN, MA ;

PALMIERI, N ;

KUHMAN, D .

[3] WEAR PROPERTIES OF TETRAHEDRALLY BONDED AMORPHOUS THIN-FILMS [J].

JANSEN, F ;

MACHONKIN, MA .

KORHONEN, AS ;

JONES, PL ;

COCKS, FH .

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING, 1981, 49 (02) :127-132