DISSOCIATION ENERGETICS OF SIF SYSTEMS OF RELEVANCE TO ETCHING REACTIONS

被引:35
作者
GARRISON, BJ [1 ]
GODDARD, WA [1 ]
机构
[1] CALTECH,ARTHUR AMOS NOYES LAB CHEM PHYS,PASADENA,CA 91125
关键词
D O I
10.1063/1.453706
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
摘要
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页码:1307 / 1314
页数:8
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