NEW CONTACT RESISTANCE PROFILING METHOD FOR ASSESSMENT OF 3-5 ALLOY MULTILAYER STRUCTURES

被引：15

作者：

GOODFELLOW, RC

CARTER, AC

DAVIS, R

HILL, C

机构：

来源：

ELECTRONICS LETTERS | 1978年 / 14卷 / 11期

关键词：

D O I：

10.1049/el:19780223

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

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页码：328 / 330

页数：3

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共 3 条

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