A SPREADING RESISTANCE TECHNIQUE FOR RESISTIVITY MEASUREMENTS ON SILICON

被引：247

作者：

MAZUR, RG

DICKEY, DH

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2423927

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：255 / &

共 22 条

[1]

Bowden F. P., 1950, AM J PHYS, V2, DOI [10.1021/ed028p230.3, DOI 10.1021/ED028P230.3]

BROWNSON, J .

[3]

DICKEY DH, 1963, APR PITTSB M SOC, V12, P151

[4]

DOBBS PJH, 1964, SEMICONDUCTOR PRODUC, P28

GARDNER, EE ;

HALLENBACK, JF ;

SCHUMANN, PA .

[6]

HENISCH HK, 1957, RECTIFYING SEMICONDU, P6

[7]

HENISCH HK, 1957, RECTIFYING SEMICONDU, P125

[8]

HOLM R, 1958, ELECTRIC CONTACTS HA

[9]

IRVIN JC, 1962, BELL SYST TECH, V41, P385

[10]

JONES FL, 1957, PHYSICS ELECTRICAL C