共 22 条
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1961, METALS HANDBOOK
[22]
AMERICAN I PHYSICS H
A SPREADING RESISTANCE TECHNIQUE FOR RESISTIVITY MEASUREMENTS ON SILICON
被引：247
作者：
MAZUR, RG
DICKEY, DH
机构：
关键词：
D O I：
10.1149/1.2423927
中图分类号：
O646 [电化学、电解、磁化学];
学科分类号：
081704 ;
摘要：
引用
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页码：255 / &
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