PUMPING MECHANISMS FOR INERT-GASES IN DIODE PENNING PUMPS

被引：3

作者：

BAKER, PN

LAURENSO.L

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1972年 / 9卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1316618

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

收藏

页码：375 / &

相关论文

共 15 条

[11] LECK JH, 1964, PRESSURE MEASUREMENT, P82
[12] SMEATON PG, 1962, 9TH T NAT VAC S AVS, P491
[13] STECKELMACHER W, 1968, 4TH P INT VAC C, P67
[14] VAUMORON JA, 1970, VACUUM, V20, P9
[15] NEW LARGE CELL VAC I, P27