ABRUPT TRANSITION FROM INSULATING TO HIGHLY CONDUCTING LAYERS OF ZNO BY REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING

被引：3

作者：

WEBB, JB

WILLIAMS, DF

机构：

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1982年 / 20卷 / 03期

关键词：

D O I：

10.1116/1.571336

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：467 / 468

页数：2

共 4 条

[1]

Brodie D. E., 1980, Fourteenth IEEE Photovoltaic Specialists Conference 1980, P468

BUCHANAN, M ;

WEBB, JB ;

WILLIAMS, DF .

CHEEK, G ;

INOUE, N ;

GOODNICK, S ;

GENIS, A ;

WILMSEN, C ;

DUBOW, JB .

SHEWCHUN, J ;

DUBOW, J ;

WILMSEN, CW ;

SINGH, R ;

BURK, D ;

WAGER, JF .