LASER INTERFEROMETER BEVEL ANGLE MEASUREMENT FOR SPREADING RESISTANCE PROFILING

被引：7

作者：

DAVANZO, DC ^{[1
]}

CLARE, C ^{[1
]}

DELLOCA, C ^{[1
]}

机构：

[1] HEWLETT PACKARD CO,PALO ALTO,CA 94304

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1980年 / 127卷 / 12期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2129576

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页码：2704 / 2708

页数：5

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RUNG, RD
GAT, A
DUTTON, RW
[J]. JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 1978, 125 (07) : 1170 - 1176
[3] LEE GA, 1974, SPREADING RESISTANCE
[4] MAZUR RG, 1966, J ELCHEM SO, V113, P3
[5] APPLICATION OF MULTILAYER POTENTIAL DISTRIBUTION TO SPREADING RESISTANCE CORRECTION FACTORS
SCHUMANN, PA
GARDNER, EE
[J]. JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 1969, 116 (01) : 87 - &