THE STRUCTURE OF REACTIVELY SPUTTERED METAL CARBIDE AND METAL SILICIDE SOLAR SELECTIVE ABSORBERS

被引：23

作者：

RITCHIE, IT

机构：

来源：

THIN SOLID FILMS | 1980年 / 72卷 / 01期

关键词：

Compendex;

D O I：

10.1016/0040-6090(80)90559-3

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

Titanium compounds

引用

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页码：65 / 71

页数：7

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共 12 条

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SIKKENS M, 1979, 1979 P INT SOL EN SO, P229

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Vossen J.L., 1978, THIN FILM PROCESSES