SURFACE-TEMPERATURE BY ELLIPSOMETRY

被引:12
作者
IBRAHIM, MM
BASHARA, NM
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1972年 / 9卷 / 05期
关键词
D O I
10.1116/1.1317024
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:1259 / &
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共 1 条
[1]   PARAMETER-CORRELATION AND COMPUTATIONAL CONSIDERATIONS IN MULTIPLE-ANGLE ELLIPSOMETRY [J].
IBRAHIM, MM ;
BASHARA, NM .
JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA, 1971, 61 (12) :1622-&