RASTER SCANNING DEPTH PROFILING OF LAYER STRUCTURES

被引:74
作者
WITTMAACK, K [1 ]
机构
[1] GESELL STRAHLEN & UMWELT FORSCH MBH,ABT PHYS TECH,MUNICH,FED REP GER
来源
APPLIED PHYSICS | 1977年 / 12卷 / 02期
关键词
D O I
10.1007/BF00896140
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
收藏
页码:149 / 156
页数:8
相关论文
共 33 条
  • [31] WITTMAACK K, 1974, 6TH P INT C EL ION B, P164
  • [32] WITTMAACK K, 1975, 4TH P INT C ION IMPL, P193
  • [33] WITTMAACK K, 1976, 2ND P INT C ION BEAM, V2, P649