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RASTER SCANNING DEPTH PROFILING OF LAYER STRUCTURES
被引:74
作者
:
WITTMAACK, K
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
GESELL STRAHLEN & UMWELT FORSCH MBH,ABT PHYS TECH,MUNICH,FED REP GER
GESELL STRAHLEN & UMWELT FORSCH MBH,ABT PHYS TECH,MUNICH,FED REP GER
WITTMAACK, K
[
1
]
机构
:
[1]
GESELL STRAHLEN & UMWELT FORSCH MBH,ABT PHYS TECH,MUNICH,FED REP GER
来源
:
APPLIED PHYSICS
|
1977年
/ 12卷
/ 02期
关键词
:
D O I
:
10.1007/BF00896140
中图分类号
:
O59 [应用物理学];
学科分类号
:
摘要
:
引用
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页码:149 / 156
页数:8
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共 33 条
[31]
WITTMAACK K, 1974, 6TH P INT C EL ION B, P164
[32]
WITTMAACK K, 1975, 4TH P INT C ION IMPL, P193
[33]
WITTMAACK K, 1976, 2ND P INT C ION BEAM, V2, P649
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WITTMAACK K, 1975, 4TH P INT C ION IMPL, P193
[33]
WITTMAACK K, 1976, 2ND P INT C ION BEAM, V2, P649
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