REFRACTIVE-INDEX PROFILE MEASUREMENT OF COMPOUND THIN-FILMS BY ELLIPSOMETRY

被引：2

作者：

HO, JH

LEE, CL

LEI, TF

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1049/el:19890726

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：1084 / 1086

页数：3

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共 4 条

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