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- [11] INFLUENCE OF THE ANGLE OF INCIDENCE ON SPUTTERING YIELDS[J]. JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1959, 30 (11) : 1762 - 1765WEHNER, G
ION-BEAM ETCHING OF GROOVE PATTERNS INTO GARNET FILMS
被引：15
作者：
KRUMME, JP
[1
]
DIMIGEN, H
[1
]
机构：
[1] PHILIPS FORSCH LAB HAMBURG GMBH,HAMBURG,WEST GERMANY
关键词：
D O I：
10.1109/TMAG.1973.1067664
中图分类号：
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号：
0808 ;
0809 ;
摘要：
引用
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页码：405 / 408
页数：4
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