DECREASE IN THE ETCH RATE OF POLYMERS IN THE OXYGEN AFTERGLOW WITH INCREASING GAS-FLOW RATE

被引：9

作者：

LERNER, NR

WYDEVEN, T

机构：

[1] NASA, Moffett Field, CA, USA, NASA, Moffett Field, CA, USA

来源：

JOURNAL OF APPLIED POLYMER SCIENCE | 1988年 / 35卷 / 07期

关键词：

D O I：

10.1002/app.1988.070350715

中图分类号：

O63 [高分子化学（高聚物）];

学科分类号：

070305 ; 080501 ; 081704 ;

摘要：

11

引用

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页码：1903 / 1908

页数：6

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共 11 条

[11]

YASUDA T, 1984, APPL POLYM SYMP, P201