UV PHOTON ASSISTED CVD OF SIO2 FOR LOW-DRIFT INP MISFETS

被引：3

作者：

DIMITRIOU, P

POST, G

SCAVENNEC, A

机构：

来源：

JOURNAL DE PHYSIQUE | 1989年 / 50卷 / C-5期

关键词：

D O I：

10.1051/jphyscol:1989579

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

页码：675 / 679

页数：5

共 9 条

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