SECONDARY-ION MASS ANALYSIS - INSTRUMENTATION, DATA INTERPRETATION, AND APPLICATIONS

被引：3

作者：

PHILLIPS, BF ^{[1
]}

机构：

[1] BATTELLE MEM INST,COLUMBUS LABS,COLUMBUS,OH 43201

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1974年 / 11卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1318685

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1093 / 1099

页数：7

共 10 条

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