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MICROMACHINING WITH CLUSTER IONS

被引：27
作者：
HENKES, PRW
KLINGELHOFER, R
机构：
来源：
VACUUM | 1989年 / 39卷 / 06期
关键词：
D O I：
10.1016/0042-207X(89)90629-5
中图分类号：
T [工业技术];
学科分类号：
08 ;
摘要：
引用
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页码：541 / 542
页数：2
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    [J]. JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY, 1986, 90 (14) : 3152 - 3159
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