SPUTTER DEPOSITION OF CD1-XZNXS PHOTOCONDUCTIVE FILMS

被引：23

作者：

FRASER, DB ^{[1
]}

COOK, HD ^{[1
]}

机构：

[1] BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1974年 / 11卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.1318661

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：56 / 59

页数：4

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共 3 条

[1] HIGHLY CONDUCTIVE, TRANSPARENT FILMS OF SPUTTERED IN2-XSNXO3-Y [J].

FRASER, DB ;

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MALDONADO, JR ;

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[3] VACUUM SYSTEMS FOR SPUTTERING [J].

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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY, 1970, 7 (03) :453-+