SPATIAL AND TEMPORAL EMISSION-SPECTROSCOPY OF A RADIO-FREQUENCY CAPACITIVELY COUPLED LOW-PRESSURE OXYGEN DISCHARGE

被引:10
作者
BARNES, RM
WINSLOW, RJ
机构
关键词
D O I
10.1021/j100506a003
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
摘要
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页码:1869 / 1875
页数:7
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