RECRYSTALLIZATION OF POLYCRYSTALLINE CVD GROWN SILICON

被引：22

作者：

SCHINS, WJH

BEZEMER, J

HOLTROP, H

RADELAAR, S

机构：

来源：

JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY | 1980年 / 127卷 / 05期

关键词：

D O I：

10.1149/1.2129846

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

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页码：1193 / 1199

页数：7

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