SILICON CLEANING WITH HYDROGEN PEROXIDE SOLUTIONS - HIGH ENERGY ELECTRON DIFFRACTION AND AUGER ELECTRON SPECTROSCOPY STUDY

被引：219

作者：

HENDERSON, RC

机构：

来源：

关键词：

D O I：

10.1149/1.2404325

中图分类号：

O646 [电化学、电解、磁化学];

学科分类号：

081704 ;

摘要：

引用

页码：772 / +

页数：1

共 13 条

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