EFFECT OF ION-BOMBARDMENT ON INITIAL-STAGES OF THIN-FILM GROWTH

被引:158
作者
MARINOV, M [1 ]
机构
[1] BULGARIAN ACAD SCI,INST PHYS CHEM,BU-1000 SOFIA,BULGARIA
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(77)90182-1
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
收藏
页码:267 / 274
页数:8
相关论文
共 14 条