PHYSICAL CHARACTERIZATION OF HALOGENATED AND HYDROGENATED AMORPHOUS-SILICON FILMS

被引:14
作者
AUGELLI, V
MURRI, R
GALASSINI, S
TEPORE, A
机构
[1] CNR,NAZL STRUTTURA MAT GRP,BARI,ITALY
[2] UNIV LECCE,IST FIS,I-73100 LECCE,ITALY
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(80)90582-9
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:315 / 320
页数:6
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