DIFFUSION OF GA INTO SI THROUGH SIO2

被引:4
作者
JAIN, GC
PRASAD, A
CHAKRAVARTY, BC
机构
来源
PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1978年 / 46卷 / 02期
关键词
D O I
10.1002/pssa.2210460258
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
收藏
页码:K151 / K155
页数:5
相关论文
共 14 条