A VISIBLE LASER INTERFEROMETER FOR AIR BEARING SEPARATION MEASUREMENT TO SUB-MICRON ACCURACY

被引：7

作者：

NIGAM, A

机构：

来源：

JOURNAL OF LUBRICATION TECHNOLOGY-TRANSACTIONS OF THE ASME | 1982年 / 104卷 / 01期

关键词：

Compendex;

D O I：

10.1115/1.3253165

中图分类号：

TH [机械、仪表工业];

学科分类号：

0802 ;

摘要：

INTERFEROMETERS

引用

页码：60 / 65

页数：6

共 8 条

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