A SIMPLE OPTICAL THIN-FILM DEPOSITION MONITOR USING LEDS AND FIBER OPTICS

被引:4
作者
GALE, MT
LEHMANN, HW
HEEB, E
FRICK, K
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1982年 / 20卷 / 01期
关键词
D O I
10.1116/1.571301
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
4
引用
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页码:16 / 20
页数:5
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共 3 条
[1]  
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